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一种配备有挡环以及边环的基板处理装置，包括：工程腔室，用于执行基板处理工程；基板支撑台，安装在所述工程腔室内部且用于安置基板，在所述基板处理工程中以中心轴为基准进行旋转；喷淋头单元，用于将从工程气体供应源供应过来的工程气体喷射到所述基板上；...
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