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氮化镓基晶体管制造技术
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文档序号:38714889
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本公开提供一种氮化镓基晶体管,包括:底部结构;背势垒层,设置在底部结构上,背势垒层采用铝元素、镓元素、铟元素与氮元素组合的二元、三元或四元合金,背势垒层的铝元素组分沿背势垒层的生长方向递减,以改变氮化镓基晶体管沟道处的能带结构;沟道层,设置...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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