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本实用新型提供了一种硅片检测设备，包括：输送线，输送路径上设有前道检测工位、剔除工位、后道检测工位及电阻检测工位；与前道检测工位一一对应的前道检测机构，分别用于检测被输送至对应前道检测工位的硅片；剔除机构，将前道检测机构检测后的尺寸不合格硅...
该专利属于无锡奥特维科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡奥特维科技股份有限公司授权不得商用。

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