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本实用新型提供一种大尺寸版架，涉及光掩膜基板技术领域，包括壳体，所述壳体内侧设置有支撑台，所述壳体内侧设置有定位机构；所述定位机构包括转动台和移动块，所述转动台顶部表面设置有螺旋状滑槽，所述滑槽位于支撑台内侧，所述转动台位于支撑台下方，所述...
该专利属于深圳市精石光掩膜技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市精石光掩膜技术有限公司授权不得商用。

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