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本实用新型提供了一种晶圆级可靠性测试装置，属于晶圆级可靠性测试结构技术领域。该晶圆级可靠性测试装置包括多个探针以及依次层叠布置的电路板、探针安装座和柔性绝缘板；其中，所述探针安装座设置有多个探针安装孔；所述柔性绝缘板远离所述探针安装座的一侧...
该专利属于苏州联讯仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州联讯仪器股份有限公司授权不得商用。

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