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一种以泡沫铜作催化剂制备垂直石墨烯阵列的方法技术
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下载一种以泡沫铜作催化剂制备垂直石墨烯阵列的方法的技术资料
文档序号:38675300
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本发明涉及一种以泡沫铜作催化剂制备垂直石墨烯阵列的方法,包括以下步骤:S1、将衬底放置在泡沫铜表面上,然后将放置有衬底的泡沫铜置于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统的反应腔内;S2、对PECVD系统的反应腔进行抽真空,待真空度达到要...
该专利属于闽都创新实验室所有,仅供学习研究参考,未经过闽都创新实验室授权不得商用。
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