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本实用新型公开了一种导轨系统，涉及超精密的移动定位技术领域，导轨系统包括滑板、底座、静压导轨组件和直线导轨抱闸装置。静压导轨组件包括安装于滑板上的静压滑块以及安装于底座两侧的两个导轨盖板。静压滑块与底座滑动连接以带动滑板相对底座运动，静压滑...
该专利属于无锡市锡山区半导体先进制造创新中心所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市锡山区半导体先进制造创新中心授权不得商用。

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