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本申请涉及SPAD领域，公开了一种SPAD阵列及其制作方法，SPAD阵列包括多个SPAD单元组件；每个SPAD单元与临近的SPAD单元通过多个沟槽隔离区隔开；SPAD单元组件包括：SPAD单元和淬灭电阻；在横截面上，SPAD单元呈现规则形状...
该专利属于深圳市灵明光子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市灵明光子科技有限公司授权不得商用。

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