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本发明提供一种氧化锡基靶材及其制备方法，尤其涉及一种低电阻率高致密度氧化锡基靶材及其制备方法。该制备方法为：将原料在不同粒径的钇稳定氧化锆研磨球混合球磨下得到混合粉体，所述原料包括氧化锡主材；将所述混合粉体进行预烧，再经二次球磨后得到造粒粉...
该专利属于深圳众诚达应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳众诚达应用材料股份有限公司授权不得商用。

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