下载一种用于晶圆切割环加工的上料装置的技术资料

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本实用新型涉及一种用于晶圆切割环加工的上料装置,包括拾取组件和驱动组件,拾取组件和驱动组件连接,所述拾取组件包括支撑板和拾取头,拾取头与支撑板连接,所述驱动组件包括电机,传动机构,摆臂,连接杆和摆动杆,所述电机与传动机构连接,所述摆臂两端分...
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