下载一种芯片载具及芯片检测装置的技术资料

文档序号:38648175

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本实用新型公开了一种芯片载具,包括有工作台,所述工作台上端面安装有芯片载具盒,所述芯片载具盒上端面嵌合安装有多个芯片槽,所述芯片载具盒内腔安装有负压管路,所述工作台下端面安装有负压泵,所述工作台下端面嵌合安装有气动推杆,所述气动推杆伸缩端贯...
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