下载一种信息组件及晶圆盒的技术资料

文档序号:38636568

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本申请公开了一种信息组件及晶圆盒,信息组件应用于晶圆盒,晶圆盒包括盒体,信息组件包括:主体以及限位结构,主体用于存储晶圆信息,主体具有第一端以及与第一端相对设置的第二端,第一端以及第二端均用于与晶圆盒的盒体连接;主体上设置有位于第一端以及第...
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