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本实用新型揭示了一种离子源的阳极结构,其包括阳极部、进水部、出水部、分隔部以及盖板部;阳极部设有阳极放电室以及主体,阳极放电室贯穿设于主体的中心位置,主体的内壁套设于阳极放电室外,且主体的内壁与阳极放电室的外壁之间具有间隔空间。进水部包括进...该专利属于惠州市奥普康真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠州市奥普康真空科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型揭示了一种离子源的阳极结构,其包括阳极部、进水部、出水部、分隔部以及盖板部;阳极部设有阳极放电室以及主体,阳极放电室贯穿设于主体的中心位置,主体的内壁套设于阳极放电室外,且主体的内壁与阳极放电室的外壁之间具有间隔空间。进水部包括进...