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本发明提供了一种新型三氯氢硅精馏工艺，包括依次串联的一级隔板精馏塔、二级反应精馏塔和三级隔板精馏塔。本发明工艺创新性的将反应精馏过程强化技术以及隔板精馏塔和差压热耦合精馏这两种集成节能技术应用于三氯氢硅提纯过程中，强化了各级精馏塔分离的强度...
该专利属于华陆工程科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过华陆工程科技有限责任公司授权不得商用。

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