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本申请公开一种磁流体密封装置和半导体工艺设备，属于半导体工艺技术领域。所公开的磁流体密封装置用于半导体工艺设备，该磁流体密封装置包括旋转轴、磁流体密封组件和冷却组件，磁流体密封组件和冷却组件均套设于旋转轴，且磁流体密封组件与冷却组件相连；旋...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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