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下载包覆方法的技术资料

文档序号:38552207

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本发明提供包覆方法,从涂布之后并且铺展之前的液态树脂去除气泡。该包覆方法利用固态的树脂覆盖晶片的正面侧,其中,该包覆方法具有如下的步骤:保持步骤,利用保持工作台对晶片的位于正面的相反侧的背面侧进行保持;涂布步骤,在保持步骤之后,在晶片的正面...
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