温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种互连结构及其形成方法，互连结构包括设置于介电材料中的第一导电特征、设置于介电材料上第一蚀刻终止层、设置于第一蚀刻终止层上的第一介电层、及延伸穿过第一介电层和第一蚀刻终止层并电性连接第一导电特征的第二导电特征。第一蚀刻终止层包括硼基层及富...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。