温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种回收尾气中硅烷的装置，包括吸收塔、冷凝器和气液分离罐，吸收塔内设置有填料，冷凝器设置于吸收塔内，气液分离罐与吸收塔连接；含有氯硅烷的吸收液从填料的上部进入吸收塔，含有硅烷的尾气从填料的下部进入吸收塔，含有硅烷的尾气与含有氯硅...
该专利属于江苏中能硅业科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中能硅业科技发展有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。