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本申请属于半导体技术领域,提供了一种碳化硅肖特基二极管及其制备方法、芯片,通过在N型沟道层内增加多个两端分别与N型漂移层和N型再生层接触的P型深区结构,在N型再生层的正面形成多个P型注入区,阳极金属层与P型注入区之间形成欧姆接触,并与N型再...该专利属于天狼芯半导体(成都)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天狼芯半导体(成都)有限公司授权不得商用。
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本申请属于半导体技术领域,提供了一种碳化硅肖特基二极管及其制备方法、芯片,通过在N型沟道层内增加多个两端分别与N型漂移层和N型再生层接触的P型深区结构,在N型再生层的正面形成多个P型注入区,阳极金属层与P型注入区之间形成欧姆接触,并与N型再...