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一种等离子体处理装置，该装置包含：真空反应腔，其内有可移动下电极组件；设置于可移动下电极组件底部的移动接地环；设置于移动接地环下方的固定接地环；移动接地环和固定接地环之间的可伸缩密封组件；导电连接件，用于在移动接地环和固定接地环之间形成射频...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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