下载电池片镀膜设备及方法的技术资料

文档序号:38458915

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本申请涉及电池片加工技术领域,尤其是涉及一种电池片镀膜设备及电池片镀膜方法,电池片镀膜设备包括:多个工作腔,多个工作腔中包括镀膜工艺腔;镀膜组件,镀膜组件设置于镀膜工艺腔内;镀膜组件包括磁体组件和靶材;磁体组件形成有强磁区和弱磁区,强磁区的...
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