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一种雾化器及PECVD镀膜装置制造方法及图纸
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下载一种雾化器及PECVD镀膜装置的技术资料
文档序号:38456581
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本实用新型适用于雾化器技术领域,提供了一种雾化器及PECVD镀膜装置,雾化器包括:内设置有腔体的阀体,阀体设有与腔体连通的进液口;盖设于阀体并封装腔体的盖板;与阀体连接的连接座,连接座设有与腔体连通的出雾口;可拆卸固定于腔体内的多个挡板,相...
该专利属于深圳奥拦科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳奥拦科技有限责任公司授权不得商用。
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