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本实用新型公开了一种坩埚转位装置，包括坩埚组件、主轴和抽气组件，坩埚组件转动连接在主轴顶端，抽气组件安装在主轴的外侧，其特征在于，主轴内部设置有气动杆，坩埚组件包括承重盘，气动杆与承重盘底端连接固定。坩埚组件还包括坩埚、坩埚底座、支撑盘和坩...
该专利属于成都中科德联真空科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都中科德联真空科技有限责任公司授权不得商用。

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