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等离子体生成装置制造方法及图纸
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下载等离子体生成装置的技术资料
文档序号:38439432
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公开了用于通过瞬态空心阴极放电效应生成等离子体的装置。该装置包括:腔室,腔室包括气体可以通过其进入腔室的入口和气体可以通过其离开腔室的出口;设置在腔室中的阴极电极,阴极电极包括多个空心阴极;与阴极间隔开的阳极电极;电源;以及电源控制器,其配...
该专利属于彼得所有,仅供学习研究参考,未经过彼得授权不得商用。
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