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本发明提供了一种用于扫描仪的偏转设备(100、200、300、400)。所述偏转设备(100、200、300、400)包括衬底(102、202)、振镜(106、206、304、404)和致动器装置(110)。所述振镜(106、206、304...
该专利属于德国弗劳恩霍夫应用研究促进协会所有，仅供学习研究参考，未经过德国弗劳恩霍夫应用研究促进协会授权不得商用。

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