下载一种全自动半导体检测设备的技术资料

文档序号:38422916

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本发明公开了一种全自动半导体检测设备,包括机柜,机柜上部设有检测位,检测位上设有旋转台,旋转台上设有多个工位,且其一侧布设有上料机构和下料机构,另一侧周围布设有多个检测机构,上料机构的内侧设有上料搬运机构,下料机构内侧设有下料搬运机构,上料...
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