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本发明提供一种采用离子化蒸发源镀膜ZnS或SiO的方法，采用独特的气路结构，让镀膜物质蒸汽在不断改变前进方向中，降低大颗粒物质的动能，使大颗粒物质丧失动能后落入蒸发系统底部，减少因大颗粒蒸发物质撞击导致膜层缺陷。同时利用布置在气路末端的高压...
该专利属于巨玻固能（苏州）薄膜材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过巨玻固能（苏州）薄膜材料有限公司授权不得商用。

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