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本申请实施例公开了一种半导体机台组的投片量控制方法和装置。该方案可以根据历史生产信息计算机台组的历史每日过片量，获取生产计划信息中的计划时间段、晶圆数量以及晶圆经过机台组的次数，根据计划时间段、晶圆数量以及晶圆经过机台组的次数计算机台组的平...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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