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本实用新型提供了一种掩膜板清洗装置，包括输送轨道及夹持臂，沿输送轨道延伸方向，依次设有清洗液浸泡槽、冲刷槽、置换液浸泡槽及干燥槽，还包括一清洗液蒸馏装置和一置换液蒸馏装置；冲刷槽内设置一上下移动机构，且底部连接有一第一存储槽，上下移动机构包...
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