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本发明提供了一种自带圆周定位的载台装置，属于半导体晶圆用载物台领域，载台装置包括载台底座、载台底脚、载台上座、载台主轴和晶圆载盘，载台装置还包括一个圆周定位模块；其中，载台底脚采用气浮地脚；载台底座通过多个载台底脚被浮动地支撑；载台上座设置...
该专利属于苏州天准科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州天准科技股份有限公司授权不得商用。

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