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一种带电粒子消色差能量选择成像装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:38370306
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本发明涉及高能带电粒子成像装置及方法,具体涉及一种带电粒子消色差能量选择成像装置及方法。解决了目前带电粒子成像技术存在色差模糊、透射粒子能损信息利用不足的技术难题。本发明装置包括带电粒子束源、束流传输单元和光学成像单元;束流传输单元包括四个...
该专利属于西北核技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西北核技术研究所授权不得商用。
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