下载高功率元件总成制造方法的技术资料

文档序号:38367902

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本发明是一种高功率元件总成制造方法,包含有以下步骤:(a)于一第一基板上形成一剥离层,该剥离层的材质为二维材料;(b)于该剥离层上形成一成核层;(c)于该成核层上成长一高功率元件;(d)取一支撑板通过一接合层与该高功率元件接合;(e)移除该...
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