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一种单晶炉底部加热器使用寿命的预测方法及系统技术方案
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下载一种单晶炉底部加热器使用寿命的预测方法及系统的技术资料
文档序号:38353767
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本发明涉及单晶炉设备管理的技术领域,特别是涉及一种单晶炉底部加热器使用寿命的预测方法,其能够更加准确地预测加热器的使用寿命;包括:获取加热器的物理特性;根据加热器物理特性确定加热器温度场分析模型的模型参数;以及温度场均匀性识别用卷积神经网络...
该专利属于苏州晨晖智能设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州晨晖智能设备有限公司授权不得商用。
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