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本发明公开了一种化学机械抛光系统的故障诊断方法，应用于气液箱的故障管理，其包括：获取检测数据；根据所述检测数据确定所述气液箱的运行状态；所述检测数据包括气液箱处于打开状态的持续时间，若气液箱打开的持续时间大于或等于预设阈值时间，则所述气液箱...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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