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磨削装置具备多个保持盘、工具驱动部、台和台罩。所述保持盘保持基板。所述工具驱动部驱动按压于所述基板的磨削工具。所述台绕旋转中心线保持多个所述保持盘，并以所述旋转中心线为中心旋转。所述台罩与所述台一起旋转。所述台罩包括越远离所述旋转中心线越向...
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