下载半导体结构及其制备方法的技术资料

文档序号:38329154

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本申请实施例公开一种半导体结构及其制备方法,半导体结构包括:衬底、栅介质层、第一导电层以及导电栓塞,栅介质层设于衬底上;第一导电层设于栅介质层上;导电栓塞设于栅介质层上,且覆盖第一导电层的侧壁,导电栓塞和栅介质层在衬底上的投影至少部分重合。...
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