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本发明公开一种等离子刻蚀机自动晶圆上下料机构，包括底座、立柱、滑块平台、上平台片、上盖、导轨、丝杆、晶圆盒挡片、步进电机，所述的底座上方通过螺柱连接立柱，所述的立柱上方设有上盖，所述的立柱一侧设有通过隔离柱设有传感器安装板，所述的传感器安装...
该专利属于苏州普汇达电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州普汇达电子科技有限公司授权不得商用。

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