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本申请提供了一种氢气传感器及其制作方法，涉及气体传感器技术领域。先基于载体制作传感器电极，再利用微电子打印技术、丝网印刷工艺、纳米压印、旋涂或刮涂，以及微电子工艺中的溅射、蒸镀中的至少一种工艺在所述传感器电极上制作出二氧化钛、钯纳米颗粒，以...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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