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本发明涉及半导体设备技术领域，尤其是一种晶圆承载机构，其包括隔离组件底座和承载组件；隔离组件底座包括外框和摆动杆，摆动杆上端安装有内连接板，内连接板与转轴拨杆的下端相互固定，转轴拨杆上端从外框的顶面中央穿出；外框底部安装有电机组，电机组与位...
该专利属于北京华卓精科科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华卓精科科技股份有限公司授权不得商用。

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