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本发明涉及一种单相六方碳化钨硬质涂层材料及其低温合成方法，属于薄膜材料技术领域。其主要解决的技术问题是将单相六方碳化钨涂层的合成温度从现有技术的１０００℃以上降低至３００℃，同时显著提高其显微硬度。本发明采用磁控溅射法，以Ｗ为靶源，Ａｒ，Ｃ...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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