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本实用新型公开了一种用于化学机械抛光的承载头组件和化学机械抛光设备，其中，承载头组件包括用于相互连接的主轴法兰和承载头法兰，所述主轴法兰和承载头法兰之间设有定位结构，用于组装时使各处位置对应；所述主轴法兰的底部和/或所述承载头法兰的顶部设有...
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