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一种蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用技术
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文档序号:38270552
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本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用,蓝宝石复合衬底包括由蓝宝石衬底材料形成的具有平面结构的基底和设置在所述基底上的至少两个圆锥体,各个所述圆锥体相同,且所述圆锥体由二氧化硅材料形成,所述圆锥体的锥底与所述...
该专利属于东旭科技集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东旭科技集团有限公司授权不得商用。
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