温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种5
...
该专利属于上海微电机研究所（中国电子科技集团公司第二十一研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电机研究所（中国电子科技集团公司第二十一研究所）授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。