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本实用新型提供了一种防震承载台及匀胶供液装置,防震承载台包括:缓冲组件;去泡件;支架;底座;其中,支架设于去泡件的一侧,去泡件由支架固定,支架底部设有缓冲组件,缓冲组件远离支架的一端连接底座。本实用新型解决了当工作环境出现震动时,由于光刻胶...该专利属于宁波润华全芯微电子设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波润华全芯微电子设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种防震承载台及匀胶供液装置,防震承载台包括:缓冲组件;去泡件;支架;底座;其中,支架设于去泡件的一侧,去泡件由支架固定,支架底部设有缓冲组件,缓冲组件远离支架的一端连接底座。本实用新型解决了当工作环境出现震动时,由于光刻胶...