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本发明提供一种GaN微波芯片的等离子体清洗方法，涉及微波芯片制造技术领域。该GaN微波芯片的等离子体清洗方法，包括以下步骤：将GaN微波芯片放入定位夹具上，再通过毛刷对GaN微波芯片的正反面进行清刷，将清刷后的GaN微波芯片放置在含有清洗剂...
该专利属于北京国基科航第三代半导体检测技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京国基科航第三代半导体检测技术有限公司授权不得商用。

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