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本发明公开一种应用于晶硅太阳电池的透明导电钝化叠层薄膜及其制备方法，属于晶硅太阳电池钝化材料制备领域，叠层薄膜包括：晶硅衬底、超薄氧化硅层、氧化锌层和氧化铟锡层，其中，所述超薄氧化硅层生长在所述晶硅衬底表面，所述氧化锌层沉积在所述超薄氧化硅...
该专利属于江苏海洋大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏海洋大学授权不得商用。

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