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本实用新型提供了一种电容式压力传感器，旨在通过在设置有信号处理电路的衬底上制作电容式压力传感器，并且在每个感应电容背离衬底的第一表面设置有第一凹槽，沿垂直于所述衬底的厚度方向上，所述第一凹槽从所述第一表面伸入至所述衬底中，以解决现有的电容式...
该专利属于苏州敏芯微电子技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州敏芯微电子技术股份有限公司授权不得商用。

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