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本发明提供一种分离NF3电解气的隔壁塔装置,涉及纯化分离技术领域,包括:隔壁塔主体;所述隔壁塔主体的上下两端分别设有外接法兰盘,隔壁塔主体的上端外接法兰盘通过连接管与冷凝器相连通,冷凝器的另一端一部分回流至隔壁塔主体上端,一部分外接输送;所...该专利属于中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种分离NF3电解气的隔壁塔装置,涉及纯化分离技术领域,包括:隔壁塔主体;所述隔壁塔主体的上下两端分别设有外接法兰盘,隔壁塔主体的上端外接法兰盘通过连接管与冷凝器相连通,冷凝器的另一端一部分回流至隔壁塔主体上端,一部分外接输送;所...