下载一种分离NF3电解气的隔壁塔装置的技术资料

文档序号:38213064

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本发明提供一种分离NF3电解气的隔壁塔装置,涉及纯化分离技术领域,包括:隔壁塔主体;所述隔壁塔主体的上下两端分别设有外接法兰盘,隔壁塔主体的上端外接法兰盘通过连接管与冷凝器相连通,冷凝器的另一端一部分回流至隔壁塔主体上端,一部分外接输送;所...
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