下载单晶炉的技术资料

文档序号:38188083

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本实用新型适用于单晶硅棒制造技术领域,提供了一种单晶炉,单晶炉可包括炉体、坩埚、排气管道和自动除灰装置。炉体形成有炉室,坩埚设置在炉室内。排气管道连接在炉室底部且连通炉室。自动除灰装置可包括电驱部件和活动件,活动件可活动地设置在排气管道内,...
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