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本发明提供了一种基于双光源多级次的对准系统及其对准方法。基于双光源多级次对准系统的对准方法，包括：将对准栅格分工艺处理以获得不同级次衍射光位置信息，根据所述位置信息确定权重因数；所述权重因数结合不同级次衍射光的所处位置信息，获得对准位置。对...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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